A concise deflection model for piezoelectric cantilever microactuators is derived using the radius of curvature of piezoelectric multilayer cantilevers.

 
  • 摘要利用壓電多層膜懸臂梁的形變曲率半徑,導出了簡(jiǎn)潔的壓電懸臂梁型微執行器的偏轉模型。
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