A composite pump was developed which is composed of a nonevaporable getter pump and a sputtering ion pump.

　
英 美
  • 結合消氣劑和離子泵的各自?xún)?yōu)缺點(diǎn),研制了一種由非蒸散型消氣劑泵與冷陰極濺射離子泵組成的復合泵。
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