A common distribution core that providesall electrical power, gases, chemicals, and other services to the sectors of an automated wafer processing system.

 
  • 一種公共分配中心,向自動(dòng)化晶片處理系統中的各個(gè)部分提供所有的電源、氣體、化學(xué)原料和其它服務(wù)。
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