A Si/Mo noncrystalline multilayer film sample was cut into two equal pieces in surface area for two times SIMS depth profile analysis by using RAS POINT MODE and POINT MODE respectively.

 
  • 本文主要介紹了輝光放電光譜儀的分析原理、分析特點(diǎn)以及在鋼鐵分析中的兩個(gè)主要應用 :基板分析和深度剖面分析。
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