9 A n AFM scann ing graph for the experim en t sam-p les that study the quas i-un id irectiona l etch ingeffect.

　
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  • 標題： 圖9準單向蝕刻效應影響溝槽結構的蝕刻面形的原子力顯微鏡掃描圖.；圖(a)、圖(c)和圖(e)分別是圖(b)、圖(d)和圖(f)的三維立體結構圖 F ig
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