論述了銅互連技術(shù)中低k介質(zhì)材料、勢壘層材料以及銅互連布線(xiàn)的大馬士革工藝.

　

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論述了銅互連技術(shù)中低k介質(zhì)材料、勢壘層材料以及銅互連布線(xiàn)的大馬士革工藝.的英文翻譯

基本釋義

In this paper, the Damascene Cu interconnecting integration technology, low-k dielectric materials and barrier materials in Cu interconnecting integration technology are introduced.

論述了銅互連技術(shù)中低k介質(zhì)材料、勢壘層材料以及銅互連布線(xiàn)的大馬士革工藝.的相關(guān)資料：

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