用二次離子質(zhì)譜和擴展電阻探針技術(shù)測量硅中注入硼的深度分布及擴展電阻探針技術(shù)分辨率的估算

　

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用二次離子質(zhì)譜和擴展電阻探針技術(shù)測量硅中注入硼的深度分布及擴展電阻探針技術(shù)分辨率的估算的英文翻譯

基本釋義

Application of Secondary Ion Mass Spectrometry and Spreading Resistance Probe Technique for Measuring Depth Profile of Boron Implanted in Silicon and Estimation of Resolution of Spreading Resistance Probe Technique

用二次離子質(zhì)譜和擴展電阻探針技術(shù)測量硅中注入硼的深度分布及擴展電阻探針技術(shù)分辨率的估算的相關(guān)資料：

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